Fraunhofer HHI velger Veeco's Sputter System

Institutt for optisk telekomforskning bestiller ionestrålespruttersystem for å lage laserfasetbelegg og mikrooptiske enheter.

HHI vil bruke Veecos IBS-teknologi til å lage laser fasettbelegg.

Veeco Instruments har kunngjort at de har sendt sitt Spector Ion Beam Sputtering-system (IBS) og Sirius Optical Monitor System til Fraunhofer Institute for Telekommunikasjon(HHI).
Instituttet, basert i Berlin, Tyskland, sier at det vil bruke denne IBS-teknologien "for å utvikle og produsere laserfasetbelegg og andre mikrooptiske enheter".
"Utviklingen av sofistikerte mikrooptiske enheter krever eksepsjonell forstøvningsteknologi," kommenterte Greta Ropers, leder for backend og emballasjegruppe for Fraunhofer.
"Veecos Spector-system, kombinert med Sirius OMS, vil sikre at vi utvikler og produserer enheter i verdensklasse med høyest gjennomstrømning og prosessgjentakbarhet på en automatisert, etablert plattform."

Optiske tynne filmer
Spector-plattformen genererer optiske tynne filmer av høy kvalitet med forbedrede nivåer av produktivitet og gjennomstrømning, ifølge kunder. I motsetning til fordampningsbelegg blir ionestråleforstøvede tynne filmer avsatt ved høye energier, noe som gir eksepsjonell tykkelseskontroll og lave tetthetstettheter for laserbeleggapplikasjoner. Sirius OMS forbedrer Spector-plattformens evne ved å koble bredbåndsovervåkingskontroll med stabiliteten til ionestråledeponerte filmer. .
"Fraunhofer HHI verdensledende innen utvikling av neste generasjons laserfasetbelegg og mikrooptiske enheter," sa Dr. Adrian Devasahayam, visepresident og daglig leder for Veecos Advanced Deposition and Etch (AD&E) virksomhet. "Spector-systemet gir enestående kvalitet og fleksibilitet for presise optiske belegg av tynne filmer, og vil akselerere deres utviklingsmål."
Finansiering for dette prosjektet ble gitt av Forschungsfabrik Mikroelektronik, en forskningsfabrikk på tvers av lokasjoner for mikroelektronikk og nanoelektronikk, som kompromitterer elleve institutter i Fraunhofer-gruppen sammen med Innovations for High Performance Microelectronics og Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Systemet ble solgt i samarbeid med Veeco sin europeiske kanalpartner,Veonis Technologies.